納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。劃痕法通過使用不同的傳感器（聲發(fā)射、劃痕位移、摩擦力）和視頻顯微鏡觀察獲得臨界載荷數(shù)據(jù)來量化不同的膜-基材組合的結(jié)合性能。

納米壓痕測(cè)試是一種測(cè)量硬度的方法，是材料測(cè)試的重要組成部分，它用于確定材料的塑性和彈性性能，如壓痕彈性模量 EIT、壓痕硬度 HIT 及壓痕蠕變 CIT。納米壓痕法可以非常精確地測(cè)量與壓痕深度相關(guān)的多個(gè)材料特征參數(shù)。

在納米壓痕測(cè)試過程中，壓頭按預(yù)定的加載曲線壓入被測(cè)物，當(dāng)達(dá)到設(shè)定的最大力值時(shí)，壓頭再次以可控的方式進(jìn)行卸載。在加載和卸載過程中記錄壓入深度，通過施加的載荷、壓頭的形狀和壓痕深度就可以計(jì)算出各種性能參數(shù)。測(cè)量的材料力學(xué)性能包括:彈性模量、壓痕硬度、馬氏硬度、壓痕模量、壓痕蠕變、儲(chǔ)能模量、損耗模量、屈服強(qiáng)度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性等。